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INDUSTRY INCUBATION

高頻響加速度傳感器芯片

詳細說明:


在機械故障診斷中的震動測量與實時監測,汽車工業等特定的應用領域經常需要較低量程的高頻響加速度計。對于量程在數百到數千g的加速度傳感器,由于微機械相對柔軟,諧振頻率因此較低,給動態測量帶來困難。因而,對較低量程加速度傳感器提出了高靈敏度,高頻響的要求。具有體積小、結構一體化、單位成本低等優點。


參數:






量程:0~200g


尺寸:4000 um×4000um ×400 um


精度:優于0.2%FS


頻響:10KHz


內阻:1.5KΩ


供電:恒流源


灵敏度:0.2μV /g/V


工作温度:-40℃ ~120℃


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